上海芯刻微材料技術有限責任公司是上海新陽（300326）的子公司，致力于高端光刻膠產(chǎn)品及配套試劑的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，打破國外壟斷，為IC制造行業(yè)提供質(zhì)優(yōu)價平的光刻材料解決方案。上海芯刻微成立于2018年5月，注冊資本1.5億人民幣，項目總投資2億人民幣。上海芯刻微具備獨立的研發(fā)生產(chǎn)基地，且配有1000 class clean room 即將裝備ASML Scanner & Track 用于光阻測試依靠新陽實驗研發(fā)平臺,擁有多種分析檢測設備,并新增多種先進的材料分析檢測設備。公司從事光刻膠研發(fā)、生產(chǎn)、銷售等相關業(yè)務。擁有穩(wěn)定的國內(nèi)外光刻膠單體及樹脂供應商，可提供穩(wěn)定的光酸，表面活性劑等，以上保證原材 料的穩(wěn)定；品質(zhì)保證方面，與PALL，Entegris建立穩(wěn)定供貨協(xié)議等，形成穩(wěn)定的質(zhì)量保證體系。公司立項研發(fā)光刻膠，先后引進技術團隊，不但擁有開發(fā)G 線、 I 線、 KrF（氟化氪）以及ArF（氟化氬）等光刻膠及相關關鍵材料的豐富經(jīng)驗， 而且擁有光刻膠樹脂及各種光引發(fā)劑的開發(fā)設計及應用經(jīng)驗。項目團隊對光刻膠及原材料的研發(fā)體系具有良好的基礎，目前所開發(fā)的ArF和KrF光刻膠樣品均取得了理想的曝光結(jié)果。芯刻微會進一步加強自己的研發(fā)實力，把研發(fā)方向拓展到I-line膠、KrF膠、Spin-On Carbon等多種類的光刻膠及配套試劑。依托上海新陽的資金、品牌和資源優(yōu)勢，上海芯刻微決心打造成為國內(nèi)領先的高端光刻材料供應商。