天津華海清科機電科技有限公司（簡稱“華海清科”）是天津市政府與清華大學為促進推動我國化學機械拋光（簡稱CMP）技術和設備產(chǎn)業(yè)化而合資成立的有限責任公司。公司座落于天津市津南區(qū)海河科技園內(nèi)，公司從籌備到成立，得到了天津市各級政府和清華大學的全力支持。清華大學研發(fā)團隊通過國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路裝備與成套工藝”（簡稱02專項）項目“超低下壓力CMP系統(tǒng)研制及工藝開發(fā)”的實施，已掌握了超低下壓力CMP設備及工藝的關鍵技術，并成功研制出國內(nèi)首臺用于銅制程拋光的300mm晶圓“干進干出”CMP設備，初步具備產(chǎn)業(yè)化能力。
華海清科注冊資本6000萬元人民幣，公司擁有清華大學的CMP設備核心技術與骨干團隊，通過資源整合、人才引進，成為一家擁有自主核心技術和強大研究團隊的高科技公司。華海清科將與清華大學繼續(xù)合作，并聯(lián)合中芯國際、上海集成電路研發(fā)中心等單位繼續(xù)承擔國家科技重大專項任務，最終實現(xiàn)CMP設備與技術的國產(chǎn)化，逐步替代進口設備，為實現(xiàn)我國集成電路制造裝備及工藝的國產(chǎn)化戰(zhàn)略做出貢獻。
